MEMS热式流量传感器及其应用

流量这一参数是工业生产过程、科学实验计量等多领域所必须测量的重要参数。用于流量测量的流量传感器品种非常多，在微电子技术、计算机技术和通信网络技术的融入下，也在不断推陈出新。

其中热式流量传感器为流量计量带来了一场革命，实现了直接测量流体质量流量的目的。热式质量流量传感器能够利用比较简单的构造来准确地测量工艺气体的质量流量，因此广泛地普及在医疗、汽车、食品等气体监控和测量领域拥也有广泛的应用。

近年来，随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展，传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度、微型化、高精度、高可靠性方向发展，利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测的流量传感器已成为重要研究方向。

炜盛科技自主研发的微流量传感器于2012年即成功面世并取得相关专利，同时我们还参与起草了《JB/T 13111-2017 热式质量流量传感器》的行业标准。

2022年，在原有的MEMS热式微流量传感器基础上，升级推出FR03/FR03H/FR06/FR20新款流量传感器，采用低压损设计，广泛用于各类气体流量测量。

微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。在工业生产、科学实验、产品质量把控、生产效率提高、能源节约等方面发挥着重要作用。

流量传感器在医疗领域，如：医院病床供氧、楼层管道供氧以及呼吸机、制氧机、麻醉机中有广泛的应用。