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MEMS传感器 是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物
MEMS是Micro-electro-mechanical-Systems的英文缩写，它是经过光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微机电加工等工艺加工制作的高科技电子机械器件，用硅做的比较多。 随着MEMS技术(硅微机械加工技术
什么是口腔异味？ 相信绝大多数人都曾经被口腔异味的问题困扰过，那么口腔异味都有什么表现呢？ 口腔异味指的是呼气中含有令人不愉快气味的一种症状，具体表现为呼吸时有明显
MEMS的全称是微型电子机械系统 利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器
近年国内燃气表市场容量高达千万台，据估算，总市场空间超400亿元，燃气表市场前景广阔、大有可为。市场现有燃气表多为皮膜式机械表，随着热量计量、能量计量方式的兴起，超声
导读： MEMS是Micro-electro-mechanical-Systems的英文缩写，用硅做的比较多。它是经过光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微机电加工等工艺加工制作的高科技电子机械器件。 01、国内外MEMS流量检测芯
MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集
流量这一参数是工业生产过程、科学实验计量等多领域所必须测量的重要参数。用于流量测量的流量传感器品种非常多，在微电子技术、计算机技术和通信网络技术的融入下，也在不断推陈出新。其中热式流量传感器为流量计量带来了一场革命，实现了直接测量流体质量流...
商业化压力传感器中，MEMS、陶瓷、薄膜等三种压力传感器技术，分别在低压、中压、高压等量程的压力测量中各有优势。其中，MEMS压力传感器更适合于低压和部分中压应用。经过数十年的发展，MEMS压力传感器已经应用到汽车、消费、医疗、工业等各个方...
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