显微镜下的MEMS结构（注意图上刻度是微米） MEMS应用范围很广，封装应根据实际终端应用要求（如保护性、气密性、散热性等）进行设计。 消费电子/移动应用驱动MEMS市场快速成长，复
MEMS技术是一个虽有历史但充满年轻活力的技术，诞生于半个世纪以前，兴起于二十年前。小小的MEMS有着大大的玄机，与大家耳熟能详的半导体技术息息相关，但其制造、设计、材料等
摘要：为了实现电流传感器在配电网中的覆盖使用，电流传感器朝着小型化、低成本、性能可靠和易安装维护方向发展，基于三维感应线圈的新型 MEMS电流传感器 便被研究出来了，它可
引言 机器人、无人机、无人车、无人船等代表性无人系统的智能自主控制是当前自动控制领域的研究热点，更是提升无人系统自主性和智能化水平的核心技术。自主导航技术利用对应的
最近几年，随着 MEMS传感器 的设计和制造工艺的不断进步， MEMS压力传感器 的性能有了很大的提高，并且随着成本和尺寸不断降低，消费电子厂商开始使用压力传感器与惯性传感器和地
MEMS传感器 是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物
MEMS是Micro-electro-mechanical-Systems的英文缩写，它是经过光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微机电加工等工艺加工制作的高科技电子机械器件，用硅做的比较多。 随着MEMS技术(硅微机械加工技术
什么是口腔异味？ 相信绝大多数人都曾经被口腔异味的问题困扰过，那么口腔异味都有什么表现呢？ 口腔异味指的是呼气中含有令人不愉快气味的一种症状，具体表现为呼吸时有明显
MEMS的全称是微型电子机械系统 利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器
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