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热式气体流量传感器简介热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称分布在加热电阻的上、下游，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电
据统计，压力传感器是全球三大传感器种类之一，在多个应用场景如：工业互联网、消费电子、汽车、生物医学、航空航天、天然气、化工、矿业、电力、楼宇自动化、暖通空调、食品加工、制药、医疗保健、环境监测等等有广泛应用。由于结构不同，压力传感器可以分为测定绝对压
热式气体流量传感器简介热式气体流量传感器是基于流体传热学原理的一类传感器，利用 MEMS 热式原理对管路气体介质进行流量监测。流量芯片由两个热偶堆和一个加热电阻组成，热偶堆对称分布在加热电阻的上、下游，加热电阻和热偶堆的热结处于一个隔热底座上。加热电
在环境因素中，温度和湿度是和我们的生活息息相关的两个指标。在冷藏管理中，湿度传感可确保食品、饮料和药品等对温度敏感的产品有合适的储存条件；在智能建筑中，湿度传感器被部署以改善居住舒适性以及确保贵重资产的恰当保管；在远程监控和智能资产管理中湿度传感器数
显微镜下的MEMS结构（注意图上刻度是微米） MEMS应用范围很广，封装应根据实际终端应用要求（如保护性、气密性、散热性等）进行设计。 消费电子/移动应用驱动MEMS市场快速成长，复
MEMS技术是一个虽有历史但充满年轻活力的技术，诞生于半个世纪以前，兴起于二十年前。小小的MEMS有着大大的玄机，与大家耳熟能详的半导体技术息息相关，但其制造、设计、材料等
摘要：为了实现电流传感器在配电网中的覆盖使用，电流传感器朝着小型化、低成本、性能可靠和易安装维护方向发展，基于三维感应线圈的新型 MEMS电流传感器 便被研究出来了，它可
引言 机器人、无人机、无人车、无人船等代表性无人系统的智能自主控制是当前自动控制领域的研究热点，更是提升无人系统自主性和智能化水平的核心技术。自主导航技术利用对应的
最近几年，随着 MEMS传感器 的设计和制造工艺的不断进步， MEMS压力传感器 的性能有了很大的提高，并且随着成本和尺寸不断降低，消费电子厂商开始使用压力传感器与惯性传感器和地
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